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一、RT-100高精度反射式膜厚仪
测试功能:膜厚,反射率,折射率
选配功能:颜色、液晶盒厚,空盒盒厚
二、性能优点:
1、采用高强度卤素灯光源 光谱覆盖400-900n
2、非接触、非破坏测量
3、支持单层、多层膜测量
4、多类解析算法,可精准和估算测量 满足不同测量需要
5、配置灵活、便携式设计 支持定制化
三、应用领域:
广泛应用于半导体、精密光学、新能源/光伏、平板显示中各种介质保护膜、有机薄膜、无机薄膜、 金属膜、涂层等薄膜测量
四、测试原理
基于分析薄膜表面和界面反射光相干涉形成的反射谱
实现各种介质保护膜、半导体薄膜、玻璃镀膜等膜厚快速表征
五、膜厚解析:
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